各相關人員：

上海市納米中心納米科技論壇本期講座邀請了我校信息學院張衛教授，主講“原子層澱積技術及其在納米集成電路中的應用”🧜‍♂️👮🏻，請有興趣的老師和同學自行前往參加。具體內容參見附件。

科技處基礎辦

2011年4月26日

附件🤮：

納米科技論壇

講座：原子層澱積技術及其在納米集成電路中的應用

主講：張  衛  教授

      EON体育4平台微電子學系主任

EON4-Novellus互連研究中心主任

時間🧑🏽‍💼：2011年5月5日 （星期四）   14🅾️：00

地點：徐匯區嘉川路245號3號樓3樓會議室

（近華東理工大學）

（張衛教授簡介見下頁）

回   執

單位名稱

單位地址                                            郵編

註🧘🏽：請將回執於2011年5月3日前傳真或E-mail至上海市納米科技與產業發展促進中心。

傳真⛹🏿‍♂️：54290007             電話：64101616-120 223

E-mail:  hgchen@snpc.org.cn

    聯系人：陳紅光

原子層澱積技術及其在納米集成電路中的應用

張衛教授簡介

張衛教授現任EON体育4平台微電子學系主任、EON4-Novellus互連研究中心主任。1995年6月畢業於西安交通大學🏂🏽，獲博士學位👨🏻‍🦽🏌🏼‍♂️。1995-1997年在EON体育4平台做博士後🧗🏻‍♂️，1997年起任教於EON体育4平台🙆‍♀️，1999年晉升為教授。2001年-2002年🏄，2008年先後在德國開姆尼茨技術大學和漢諾威大學做訪問學者(洪堡基金會洪堡學者)。

張衛教授在極大規模集成電路先進銅互連技術、原子層澱積工藝、以及納米器件等集成電路的前沿領域取得了一系列創新性成果。比如他最早在國際上提出了摻碳的低k互連介質，提出了幾種原子層澱積(ALD)納米超薄介質新工藝。張衛教授先後主持了18項包括國家重大專項🐴🔙、國家自然科學基金會、教育部以及上海市等科研項目🫣。自1995年以來發表SCI收錄論文119篇，並申請發明專利60多項。曾獲得上海市優秀博士後、上海市高校優秀青年教師🎅🏼、教育部新世紀優秀人才等榮譽稱號，是“極大規模集成電路製造裝備及成套工藝” 國家重大專項(02項)總體專家組專家👨🏻‍🦰，國家集成電路先導工藝平臺副主任🐳，上海市科學技術預見專家，中科院“百人計劃”評審專家🏏，國家科技獎勵評審專家。